第一次北伐就这样结束了，总的来说打了败仗。
诸葛亮回到汉中，还来不及休整就着手检讨此次战败的原因，追究相关人员的责任。毫无疑问，街亭惨败是此战被迫逆转的关键，马谡是战败的第一责任人。
可这时大家才发现，马谡找不到了。蜀军从街亭败下来，1万多人只剩下了1000多人，他们是在王平等将领率领下回来的，而马谡下落不明。
马谡干什么去啦？他潜逃了。街亭战败，马谡知道这个祸闯得太大了，他又悔又怕，没敢回去，逃跑了。他是怎么逃的、逃到了哪里，史书没有详细交代，只有马谡的好朋友向朗知道一些细节，向朗此时正以丞相府长史的身份在汉中供职。
打了败仗，已经犯下大错；又私下逃走，一错再错。可最终马谡还是回来了，是自己跑回来的还是被抓回的史书也没有记载，诸葛亮命令把马谡下狱审查。诸葛亮与马良、马谡兄弟感情很深，他们之间的交往可以追溯到青年时期，尤其是马良，是诸葛亮的挚交，马良称诸葛亮为“尊兄”，按当时的习惯非亲戚关系一般不这样称呼。马良为国尽忠后诸葛亮视马谡为自己的弟弟，对他的才华也十分欣赏。但感情代替不了国法军规，诸葛亮不会徇任何私情。
在狱中马谡也知道罪责深重，给诸葛亮写信说：“您一向拿我当儿子看，我也把您当作自己的父亲，愿您能体察舜杀了鲧却能起用禹的大义，使我二人平生之交不因此事而亏损，我虽死了，也无恨于黄泉！”马谡说的是一段上古往事，那时洪水滔天，舜命鲧治水，但无功，舜杀鲧于羽郊，但舜不因此废人，后来又命鲧的儿子禹去治水，禹治水功成。马谡说此话有两层意思：一是想说街亭之败虽罪不容赦，但不是自己刻意为之，就像鲧治水无功一样，都是天命使然；二是想以此向诸葛亮托付后事，希望诸葛亮能一如既往善待马氏族人。
马谡有子女，但情况不详。马良的儿子马秉在蜀汉任骑都尉，很受诸葛亮和后主的信任。
马谡该不该杀？大家对此还有不同意见。
胜败是兵家常事，打了败仗不一定就犯了死罪，关键要看打的是什么样的败仗、仗又是如何败的，除非有特别的情况、造成了十分严重的后果，一般情况下败军之将可以被降职、撤职，却很少有立即砍头的。
只凭打败仗马谡还不至于死，但这又是影响全局的街亭之败，杀他也应该。所以，杀马谡，说得通；不杀马谡，也不算枉法。但马谡不该犯下第二个大错，那就是逃亡，这一条也是大罪，不说打败仗的事，仅这一项也能定死罪，马谡离死刑又近了一步。
但仍然有人建议不要杀，蒋琬正好由成都来汉中，劝诸葛亮：“当年晋楚相急，楚王杀了成得臣，可以想见晋王是多么高兴。现在天下未定，却杀才智之士，岂不可惜？”成得臣是楚国名将，他指挥楚军在城濮与晋军会战，结果楚军大败，大家都跑去向晋文公道贺，晋文公却忧心地说“楚军主帅成得臣还在，我们的灾难恐怕还没结束”。但楚王因打了败仗而斩杀了成得臣，晋文公听到后如释重负，喜不自胜，比打了胜仗还高兴。
诸葛亮明白蒋琬的意思，人才确实也难得。但诸葛亮内心里已坚定杀马谡以明军纪的想法，听完蒋琬的话他流下了眼泪，对蒋琬说：“孙武之所以能决胜于天下，在于他用法严明。所以昔日杨干乱法，魏绛杀其仆人。现在天下分裂，兵争正起，如果不讲法纪，拿什么讨伐贼人呢？”诸葛亮讲的也是晋国故事，那是在晋悼公时，他的弟弟杨干犯法，大夫魏绛处斩了杨干的仆人，晋悼公认为魏绛做得好，命魏绛主持晋国军队。现在正因为大业未兴，处在用人之际，所以更要讲法纪，这样才能吸引更多的人才。
诸葛亮还是把马谡杀了。
蜀军将士听说马谡被杀，无不为之流泪，诸葛亮也亲自为他祭奠，后来待马谡的遗孤如自己的亲生孩子一样。就诸葛亮杀马谡一事后世的史学家曾提出过不同意见，晋代史学家习凿齿认为，蜀国居于偏僻之地，优秀人才本来就少，现在杀俊才，只能退收庸才，诸葛亮虽然强调了法纪，却害了人才，还能成就什么大业？但这个逻辑是讲不通的，如果是个人才就可以不受法律的约束，那这个世界会恐怖成什么样？
参加街亭战役的其他几位将领也受到了处罚，张休、李盛与马谡一同被杀，另一位将领黄袭被夺去了兵权，没有被追责的只有王平，因为他曾力谏马谡，兵败后又能组织有效撤退，减少损失，所以不仅没有受罚，而且由裨将军进位为讨逆将军，封亭侯。
赵云虽然组织撤退有功，但毕竟箕谷还是打了败仗，诸葛亮奏请后主，将赵云的镇东将军降为镇军将军，相当于由兵团司令降职为军长。
向朗知道马谡潜逃的事却没有报告，因此也受到连累，诸葛亮二话不说，把向朗一撸到底。向朗的仕途本来一直被看好，在诸葛亮着意培养的人中，向朗是最有前途的人之一，资历、地位都远在蒋琬、费祎等人之上，但此事严重影响了他的发展，虽然数年后他重新复出，但也只是在朝廷里担任了光禄勋的闲职。
马谡手下有一位姓陈的参军也因为此事受到处罚，被诸葛亮处以髡刑，即剃去头发的一种有期徒刑。此人有一个儿子，特别好学，后来拜蜀中大学者谯周为师，他就是《三国志》的作者陈寿。
有人认为，正是因为陈寿的父亲此次受罚，加上诸葛亮死后陈寿又被诸葛亮的儿子诸葛瞻所轻视，才影响到他著史的忠实性，在《三国志》里陈寿评价诸葛亮“随机应变和用兵的谋略不是他的特长，缺乏应敌之才”，又评价诸葛瞻“只善于书法，名气很大但没有实才”。这些评价都不客观，受到大家的批评。
这其实并不客观，只要认真读完陈寿为诸葛亮所作的传记，就会发现他对诸葛亮是极为推崇的，在《三国志》里陈寿对诸葛亮有大量的赞颂，并明确地说诸葛亮是治世的良才，可以与管仲、萧何相匹敌，不存在有意诋毁。诸葛亮的第一部文集也是陈寿编著的，因为他的努力诸葛亮的许多作品才得以保存下来。至于诸葛亮的将略，这是个有争议的话题，陈寿的看法至少算是一家之言吧。
该杀的杀了，该罚的罚了，诸葛亮认为对此事的追责还没有结束，有一个也要受到惩罚，这个人就是他自己。为此，诸葛亮向后主上表，主动承担责任：“我以浅薄的才能，占据着不能胜任的职位，执掌军权，督率全军，却不能按照规章，严明法纪，面临大事而不慎重，发生了马谡在街亭违抗军令的错误以及赵云在箕谷戒备不严的过失，这些都是我用人不当造成的。我清楚对下属不了解，考虑问题不周全，按照《春秋》里提出处罚主帅的原则，我应当受到处罚。请将我的官职降低三级，以惩罚这个罪过。”
这次打败仗诸葛亮的确负有责任，正如这份上疏中所说，他的责任在于用人不当，错用了马谡，造成了无可挽回的损失。
但是谁没打过败仗呢，谁又没走过麦城？曹操一生打过多少败仗？孙权也打过，刘备也打过，有胜就有败，普通将领兵败受罚，但对于大军统帅，还没怎么听说过打败仗受惩罚的，诸葛亮自己不提，不会有人去追究他的责任。
但诸葛亮一向执法严明，马谡有错，他不包庇，赵云、向朗他本可以睁一只眼闭一只眼，但也不马虎，轮到自己，更是带头执法。后主接到奏疏，按照诸葛亮的意见，下诏将他由丞相降为右将军，代行丞相职权。